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一、點(diǎn)火前必做：安全與基礎(chǔ)條件檢查（優(yōu)先排除致命問題）

1. 氣體供應(yīng)：核心中的核心（90% 點(diǎn)火失敗與氣體相關(guān)）

• 氣體純度：必須使用 ≥99.999%（5N）的高純氬氣，雜質(zhì)（O?、H?O、N?）會導(dǎo)致點(diǎn)火困難或等離子體熄滅；若近期更換氣瓶，需確認(rèn)氣瓶標(biāo)簽正確（避免誤換氮?dú)?/ 空氣），且新氣瓶需先排空閥口雜質(zhì)（開閥 3~5 秒后關(guān)閉再連接）。

• 壓力與流量：

• 1：等離子氣（Plasma Gas）：常規(guī)流量 15~18 L/min（不同儀器略有差異），氣瓶出口壓力需穩(wěn)定在 0.5~0.8 MPa（減壓閥壓力），若壓力低于 0.3 MPa 或流量波動＞0.5 L/min，需更換氣瓶或檢查減壓閥是否故障。

• 2：輔助氣（Auxiliary Gas）：流量 0.8~1.2 L/min，流量為 0 或過低會導(dǎo)致等離子體無法維持，過高則會吹散電弧。

• 3：載氣（Carrier Gas）：流量 0.8~1.2 L/min（點(diǎn)火時可適當(dāng)調(diào)高至 1.0~1.5 L/min 輔助點(diǎn)火），載氣中斷會導(dǎo)致等離子體無法點(diǎn)燃。

• 氣路泄漏：用肥皂水涂抹氣路接頭（氣瓶出口、減壓閥、儀器進(jìn)氣口、管路連接處），若冒泡則說明泄漏，需擰緊接頭或更換密封圈（PTFE 材質(zhì)常見老化）。

2. 電源與硬件安全

• 確認(rèn)儀器主電源、射頻（RF）電源、冷卻系統(tǒng)電源均已接通，無跳閘或斷電情況。

• 檢查冷卻系統(tǒng)：循環(huán)水（或風(fēng)冷）需正常工作 —— 水冷機(jī)水位在刻度線之間、水溫穩(wěn)定在 20~25℃，若水溫過高（＞30℃）或水流報(bào)警，需排查水冷機(jī)泵、管路堵塞（水垢 / 雜質(zhì)）；風(fēng)冷儀器需確認(rèn)風(fēng)扇轉(zhuǎn)動正常，散熱口無遮擋。

• 排查安全聯(lián)鎖：儀器門（炬室門、采樣錐 / 截取錐門）需關(guān)閉（聯(lián)鎖開關(guān)觸發(fā)），若門未關(guān)嚴(yán)或聯(lián)鎖開關(guān)故障（如接觸不良），儀器會禁止點(diǎn)火（安全保護(hù)機(jī)制）。