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日立SU-8010場(chǎng)發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場(chǎng)交付
點(diǎn)擊次數(shù)：338 更新時(shí)間：2025-08-12
日立SU-8010場(chǎng)發(fā)射電鏡SEM+EDX--現(xiàn)場(chǎng)交付
在2025年8月北京芯片行業(yè)工廠內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室成功從我公司購買日立場(chǎng)發(fā)射電鏡SU-8010SEM+EDX ，從現(xiàn)場(chǎng)交流技術(shù)和了解到客戶需求到簽訂合同交付
儀器現(xiàn)場(chǎng)只用了15個(gè)工作日時(shí)間，深圳心怡創(chuàng)科技效率的為客戶服務(wù)宗旨：以下是交付現(xiàn)場(chǎng)：速度效率就是為客戶省錢。
儀器配置如下：（日立SU-8010SEM+牛津EDX+電腦+操作軟件+工作站）
裝機(jī)地點(diǎn)：北京
客戶需求：芯片表面分析
在公司葉工的裝機(jī)現(xiàn)場(chǎng)，儀器性能再次確認(rèn)和樣品的分析，得到客戶很好的反饋和專業(yè)的給與。感謝客戶的認(rèn)可。給出工程師的專業(yè)性得到很大的認(rèn)可。
儀器參數(shù)：
| 二次電子分辨率 | 1.0nm（加速電壓15kV、WD＝4mm） | |
| 1.3nm（加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||
| 加速電壓 | 0.1～30kV | |
| 觀測(cè)倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |
| 60～2,000,000（顯示器輸出） | ||
| 樣品臺(tái) | ||
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 3軸馬達(dá) | |
| 5軸（選配） | ||
| 行程 | X | 0～50mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 360° | |
| T | -5～70° | |
| R | 1.5～30mm | |
| zui大裝載尺寸 | 100mm（zui大） | |
| 150mm（選配） | ||
| 探頭 | ||
| 標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 |
| Upper | 高分辨SE、BSE圖像 | |
| 選配 | STEM | 明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像 |
| YAG 探頭 | BSE圖像 | |
| 半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |
| EBIC | 電子束感生電流圖像 | |
| EDS | 元素分析 | |
| 反污染措施 | ||
| 冷指 | 標(biāo)配 | |
| 物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |
| 電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 離子泵 | 3臺(tái) | |
| 分子泵 | 1臺(tái) | |
| 機(jī)械泵 | 1臺(tái) | |
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